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スーパークリーンルームにおける空気イオン化システムからの発じん特性について
鈴木政典*, 山路幸郎*
*菱和調温工業(株)技術開発研究所
空気清浄 26(5): 48-59, 1989.
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ラッキー・スコアー
渡辺貞治
進和テック(株)
空気清浄 26(5): 60-60, 1989.
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エアフィルタの微生物除去効果
秋山茂*, 奥田舜治**, 岩下正人*, 藤本進*
*北里大学衛生学部, **(財)北里環境科学センター
空気清浄 26(6): 58-63, 1989.
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欠陥のマネージメント
福本隼明
三菱電機(株) LSI研究所
空気清浄 27(1): 6-9, 1989.
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表面汚染
岡田孝夫, 阪田総一郎
高砂熱学工業株式会社 総合研究所
空気清浄 27(1): 10-12, 1989.
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フィルタの性能試験
宮地洋二郎
日本無機(株)
空気清浄 27(1): 13-14, 1989.
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清浄化設計
岩宮正治
東洋熱工業(株)
空気清浄 27(1): 15-16, 1989.
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発じん
高橋泰子
東大医学部附属病院手術部
空気清浄 27(1): 17-19, 1989.
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コスト低減
右高正俊
豊田工業大学
空気清浄 27(1): 20-21, 1989.
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アイソレーションシステム
松尾剛伸
東京エレクトロン(株)
空気清浄 27(1): 22-25, 1989.
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