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スピンドライヤー乾燥におけるウェハ帯電の防止
稲葉仁*, 阪田総一郎*, 九嶋哲哉*, 吉田隆紀*, 岡田孝夫*, 大見忠弘**, 相合征一郎***
*高砂熱学工業(株), **東北大学工学部, ***アルファー科研(株)
空気清浄 29(5): 1262-1269, 1992.
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イオナイザ用セラミック電極
岡野一雄
小山職業訓練短期大学校・電子技術科
空気清浄 29(5): 1270-1276, 1992.
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スーパークリーンルーム用イオナイザの開発
阪田総一郎, 稲葉仁, 九嶋哲哉, 吉田隆紀, 岡田孝夫
高砂熱学工業(株)
空気清浄 29(5): 1277-1285, 1992.
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クリーンルーム計測ロボット
呂俊民*, 石黒武*
*(株)竹中工務店
空気清浄 29(5): 1294-1303, 1992.
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米国の大気清浄法改正について
A. スコット・ヴォーヒーズ
米国環境保護庁大気保全専門官
空気清浄 29(5): 1304-1308, 1992.
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0.1μmULSIプロセス環境における清浄度管理
斉木篤
日立プラント建設株式会社
空気清浄 29(6): 1358-1362, 1992.
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無発じん空気イオン化システムの開発
鈴木政典*, 鈴木国夫*, 田中政史*, 山路幸郎*
*(株)テクノ菱和 技術開発研究所
空気清浄 29(6): 1363-1374, 1992.
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HEPAフィルタ直下における乱流の数値解析
諏訪好英*, 柳澤寛高*, 西村哲郎*, 藤井修二**, 湯浅和博**
*(株)東芝 生産技術研究所, **東京工業大学
空気清浄 29(6): 1375-1381, 1992.
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クリーンルームにおけるイオン発生特性
森直樹, 大井亨, 深尾仁
大成建設(株)
空気清浄 29(6): 1394-1398, 1992.
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エアロゾルヴィジュアル 試験用ダスト5種, 10種 (フライアッシュ)
山下憲一
空気清浄 29(6): 1400-1400, 1992.
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