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文献

世界に類なき空気神社の建立を見て

塩入宗弘
塩入金属工業(株)
空気清浄 29(5): 1309-1313, 1992.

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文献

クリーンルームにおける清浄化指針 (案)

(社)日本空気清浄協会, クリーンルームにおける清浄化指針専門委員会

空気清浄 29(6): 1325-1357, 1992.

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クリーンルームの作業環境の改善に関する研究 (クリーンルーム内作業者の心理・生理量の実態把握)

深尾仁*, 森直樹*
*大成建設(株) 技術開発部
空気清浄 29(6): 1382-1393, 1992.

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HEPAフィルタ用ろ材から揮発するDOP量の評価

入江隆史*, 三井泰裕*, 斉木篤**, 鈴木道夫**, 篠崎元爾***, 大竹信義***
*日立中央研究所, **日立プラント, ***日本無機
空気清浄 30(1): 13-19, 1992.

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ウェハ沈着粒子数による清浄度の評価方法

鈴木良延*
*清水建設(株)技術研究所
空気清浄 30(1): 30-43, 1992.

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井上宇市早稲田大学名誉教授 ドイツ技術者協会ヘルマン・リーチェル栄誉メダルを受賞

田中辰明
(株)大林組
空気清浄 30(1): 80-80, 1992.

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特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (1) 第38回IES年次大会報告 第38回IES年次大会について

藤井正一

空気清浄 30(2): 166-166, 1992.

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特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 会長挨拶

吉澤晋
(社) 日本空気清浄協会 会長
空気清浄 30(3): 191-191, 1992.

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特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 日本工業規格 クリーンルーム用エアフィルタの性能試験方法原案作成について

横地明
原案調査作成委員会 委員長, 東海大学
空気清浄 30(3): 261-261, 1992.

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文献

可視化画像処理を用いた低風速一方向流中のロボットによる気流の乱れの解析

岩瀬和夫*, 大谷光幸*, 岡崎俊春*
*三建設備工業(株)
空気清浄 29(5): 1248-1255, 1992.

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